CMOS-MEMS薄膜热导率的测量 近期深圳大学许威助理教授联合香港科技大学LEE教授团队设计了一种巧妙的MEMS结构,提出了一种新的测量方案,可以有效复现芯片工作中薄膜热导率的测量。 赞 参与讨论{{item.data.meta.comment}}条讨论
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作者: CMOS-MEMS薄膜热导率的测量 近期深圳大学许威助理教授联合香港科技大学LEE教授团队设计了一种巧妙的MEMS结构,提出了一种新的测量方案,可以有效复现芯片工作中薄膜热导率的测量。 赞 参与讨论{{item.data.meta.comment}}条讨论
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