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热丝法CVD金刚石制备技术
日本N.Setaka等人用热丝CVD法沉积出了高质量多晶金刚石膜。自此以后,出现了许多不同化学气相沉积金刚石膜系统,如热丝CVD法、微波等离子CVD法、火焰燃烧CVD法、直流等离子辅助CVD法等。...- 0
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