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基板支撑组件及导热基底,美国应用材料公司 作者:V·D·帕科,K·马赫拉切夫,J·德拉罗萨,H·诺巴卡施,B·L·梅斯,小道格拉斯·A·布齐伯格 ,热管理网专利下载...- 4.2k
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