用于BEOL热管理的散热器的集成,美国德克萨斯仪器股份有限公司 作者:A·维诺戈帕,M·丹尼森,L·哥伦布,S·彭德哈卡 ,热管理网专利下载
热管理专利详情：
- 作者：A·维诺戈帕,M·丹尼森,L·哥伦布,S·彭德哈卡
- 申请人：德克萨斯仪器股份有限公司
- 国省名称：美国
- 公开号：CN105470217A
- 公开日：2016-04-06
- 专利类别：发明公开
- 文件大小：1145KB
专利摘要：
本发明涉及用于BEOL热管理的散热器的集成。一种微电子装置(100),包括组件(104)的电极(114)和电极(116)上的散热器层(118)和散热器层(120)以及散热器层(118)和散热器层(120)上的金属互连件(122)和金属互连件(124)。散热器层(118)和散热器层(120)被布置在半导体装置(100)的基板(102)的顶表面上方。散热器层(118)和散热器层(120)的厚度为100纳米至3微米,具有至少150瓦/(米·开尔文)的面向热导率以及小于100微欧姆·厘米的电阻率。
专利主权项：
一种微电子装置,包括：基板；组件；所述组件上的电极,其被布置在所述基板上方；所述电极上的散热器层,所述散热器层的厚度为100纳米至3微米、具有至少150瓦特/米·开尔文的面向热导率以及小于100微欧姆·厘米的电阻率；所述散热器层上的金属互连件；和电耦合到所述金属互连件的键合结构。
用于BEOL热管理的散热器的集成专利下载：
版权声明：部分内容由互联网用户自行发布，该文仅代表作者本人观点。如有不适或侵权，请联系我们进行反馈，一经查实本站将予以删除。
