多基板热管理设备,美国应用材料公司 作者:K·贝拉,K·韦洛尔,A·康斯坦特,J·纽曼,J·伯拉尼克,J·舒浩勒,W·威弗,R·沃派特,B·莱尔顿 ,热管理网专利下载
热管理专利详情：
- 作者：K·贝拉,K·韦洛尔,A·康斯坦特,J·纽曼,J·伯拉尼克,J·舒浩勒,W·威弗,R·沃派特,B·莱尔顿
- 申请人：应用材料公司
- 国省名称：美国
- 公开号：CN106575619B
- 公开日：2020-07-24
- 专利类别：发明授权
- 文件大小：595.8KB
专利摘要：
本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中,多基板热管理设备包括：多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
专利主权项：
1.一种多基板热管理设备,所述多基板热管理设备包括：多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方并间隔开,以使得基板被抬离所述多个板中的每一个板的上表面或将基板下降到所述多个板中的每一个板的上表面；多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
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